簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="電流控制"


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    無磨料電化學機械加工在銅薄膜平坦化製程之研究
    • /97/ 碩士
    • 研究生: 枋明輝 指導教授: 陳炤彰
    • 化學機械拋光是半導體製程中可達到全域性平坦化的一項重要技術,但是化學機械研磨應用於銅導線與以Low-k材料為主的介電層之多層導線架構平坦化製程時,易造成殘留應力、刮痕與平坦化後後續清洗等都是需要克服…
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